It was narrated that Ibn Mas'ud said:

"When we prayed with the Messenger of Allah ﷺ, we used to say: "Peace (As-Salam) be upon Allah (Subhanahu-wa-Taala), peace be upon Jibril, peace be upon Mika'il.' The Messenger of Allah ﷺ said: 'Do not say "Peace (As-Salam) be upon Allah, for Allah is As-Salam." Rather say: "At-tahiyyatu lillahi was-salawatu wat-tayyibat, as-salamu 'alaika ayyuhan-Nabiyyu wa rahmatAllahi wa baraktuhu. As-salamu 'alaina wa 'ala 'ibad illahis-salihin, ashahdu an la illaha ill-Allah wa ashhadu anna Muhammadan 'abduhu wa rasuluhu (Allah compliments, prayers and pure words are due to Allah. Peace be upon you, O Prophet, and the mercy of Allah (Subhanahu-wa-Taala) and his blessings. Peace be upon us and upon the righteous slaves of Allah (Subhanahu-wa-Taala). I bear witness that none has the right to be worshipped except Allah and I bear witness that Muhammad is His slave and Messenger)."

أَخْبَرَنِي عَبْدُ الرَّحْمَنِ بْنُ خَالِدٍ الرَّقِّيُّ، قَالَ حَدَّثَنَا حَارِثُ بْنُ عَطِيَّةَ، - وَكَانَ مِنْ زُهَّادِ النَّاسِ - عَنْ هِشَامٍ، عَنْ حَمَّادٍ، عَنْ إِبْرَاهِيمَ، عَنْ عَلْقَمَةَ، عَنِ ابْنِ مَسْعُودٍ، قَالَ كُنَّا إِذَا صَلَّيْنَا مَعَ رَسُولِ اللَّهِ ﷺ نَقُولُ السَّلاَمُ عَلَى اللَّهِ السَّلاَمُ عَلَى جِبْرِيلَ السَّلاَمُ عَلَى مِيكَائِيلَ . فَقَالَ رَسُولُ اللَّهِ ﷺ " لاَ تَقُولُوا السَّلاَمُ عَلَى اللَّهِ فَإِنَّ اللَّهَ هُوَ السَّلاَمُ وَلَكِنْ قُولُوا التَّحِيَّاتُ لِلَّهِ وَالصَّلَوَاتُ وَالطَّيِّبَاتُ السَّلاَمُ عَلَيْكَ أَيُّهَا النَّبِيُّ وَرَحْمَةُ اللَّهِ وَبَرَكَاتُهُ السَّلاَمُ عَلَيْنَا وَعَلَى عِبَادِ اللَّهِ الصَّالِحِينَ أَشْهَدُ أَنْ لاَ إِلَهَ إِلاَّ اللَّهُ وَحْدَهُ لاَ شَرِيكَ لَهُ وَأَشْهَدُ أَنَّ مُحَمَّدًا عَبْدُهُ وَرَسُولُهُ " .